Zobrazeno 1 - 10
of 1 362
pro vyhledávání: '"Polymer mems"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Rémi Courson, Oleksii Bratash, Ali Maziz, Cloé Desmet, Ricardo Alvarado Meza, Loïc Leroy, Elodie Engel, Arnaud Buhot, Laurent Malaquin, Thierry Leïchlé
Publikováno v:
Microsystems & Nanoengineering, Vol 9, Iss 1, Pp 1-11 (2023)
Abstract In this work, we introduce a polymer version of a previously developed silicon MEMS drop deposition tool for surface functionalization that consists of a microcantilever integrating an open fluidic channel and a reservoir. The device is fabr
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/aee40f935e9b4a99b4fce64ecdf74dd6
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Ultrasonics March 2018 84:404-410
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Miaomiao Zhang
Publikováno v:
CONVERTER. :50-58
In order to improve the quality and precision of ultrasonic precision sealing of polymer MEMS device, micro energy director array was proposed on the sealing surface of polymer MEMS device, the influence of the distribution size of micro energy direc
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bbe284e88e07e1e577200dc8410083e7
https://doi.org/10.17762/converter.35
https://doi.org/10.17762/converter.35
Publikováno v:
Micromachines, Vol 9, Iss 5, p 197 (2018)
Polymer Micro ElectroMechanical Systems (MEMS) have the potential to constitute a powerful alternative to silicon-based MEMS devices for sensing applications. Although the use of commercial photoresists as structural material in polymer MEMS has been
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/6df773e25d59462f82c8e14b646af206
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Sensors & Actuators: A. Physical November 2012 187:43-49