Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Polotskiy, D.Yu."'
Autor:
Shapovalov, A.P., Korotash, I.V., Rudenko, E.M., Sizov, F.F., Dubyna, D.S., Osipov, L.S., Polotskiy, D.Yu., Tsybrii, Z.F., Korchovyi, A.A.
Aluminum nitride (AlN) film coatings have been obtained by a new technique of hybrid helikon-arc ion-plasma deposition. Possibility to combine the magnetic-filtered arc plasma deposition technique with a treatment in RF plasma of helicon discharge al
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::917d9c7596c8f659767be4cd191f0d7c
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120739
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120739
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2010 International Kharkov Symposium on Physics & Engineering of Microwaves, Millimeter & Submillimeter Waves (MSMW); 2010, p1-1, 1p
