Výsledky vyhledávání - "Plumpton, James"

Akademický článek

Membrane mask aero and thermoelastic control for proximity lithography

Autor: Huston, Dryver, Plumpton, James, Esser, Brian, Burns, Dylan, Boerger, Brent, Selzer, Robert

Publikováno v: In Microelectronic Engineering 2006 83(4):923-925

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Membrane mask aeroelastic and thermoelastic control.

Autor: Huston, Dryver R., Plumpton, James O., Esser, Brian, Hoelzl, Sonja, Wang, Xiaoguang, Sullivan, Gerald A.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p780-790, 11p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Active membrane masks for improved overlay performance in proximity lithography.

Autor: Huston, Dryver R., Plumpton, James, Esser, Brian, Sullivan, Gerald A.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p11-19, 9p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Monitoring of microfloor vibrations in a new research building.

Autor: Huston, Dryver R., Esser, Brian, Plumpton, James O., Zhao, Xiangdong

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p237-245, 9p

Zobrazit plný text záznamu