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pro vyhledávání: '"Plasmamonitor"'
Akademický článek
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Autor:
Sode, Maik
In dieser Arbeit werden Speziesdichten in einem induktiv gekoppelten H2-Ar- und H2-N2-Ar- Plasma untersucht. Es werden die Ionendichten, die Radikalteilchendichten sowie die Dichten und Temperaturen der Hintergrundgasspezies - das sind stabile neutra
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::5c3d49b52d8e090dc23dd18c28e5d935
https://macau.uni-kiel.de/servlets/MCRFileNodeServlet/dissertation_derivate_00005343/DissMaikSodeH2N2ArPlasmen.pdf
https://macau.uni-kiel.de/servlets/MCRFileNodeServlet/dissertation_derivate_00005343/DissMaikSodeH2N2ArPlasmen.pdf
Autor:
Glöß, Daniel
Diese Dissertation befasst sich mit den Plasmaeigenschaften und dem Schichtbildungsprozess bei der Titanoxidbeschichtung mit dem reaktiven Puls-Magnetron-Sputterverfahren. Insbesondere werden die Vorgänge, die zu einer vermehrt oder vermindert stark
Autor:
Glöß, Daniel
Diese Dissertation befasst sich mit den Plasmaeigenschaften und dem Schichtbildungsprozess bei der Titanoxidbeschichtung mit dem reaktiven Puls-Magnetron-Sputterverfahren. Insbesondere werden die Vorgänge, die zu einer vermehrt oder vermindert stark
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______218::4805c94b526d53869d4da4fc36c17de9
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa:18761
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