Zobrazeno 1 - 10
of 3 214
pro vyhledávání: '"Plasma-induced damage"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Journal of Magnetism and Magnetic Materials 1 December 2022 563
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Solid State Electronics June 2022 192
Publikováno v:
Nanoscale Research Letters, Vol 15, Iss 1, Pp 1-7 (2020)
Abstract High-density interconnects, enabled by advanced CMOS Cu BEOL technologies, lead to closely placed metals layers. High-aspect ratio metal lines require extensive plasma etching processes, which may cause reliability concerns on inter metal di
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/c5f37579d9c740299df0877a13279660
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Kim, Mu-joong, Min, Kwan Hong, Park, Sungeun, Song, Hee-eun, Lee, Jeong In, Jeong, Kyung Taek, Park, Jin-seong, Kang, Min Gu
Publikováno v:
In Current Applied Physics April 2020 20(4):519-524
Autor:
Yoshiki Yamamoto, Kazuhiko Segi, Shibun Tsuda, Hideki Makiyama, Takumi Hasegawa, Keiichi Maekawa, Hiroki Shinkawata, Tomohiro Yamashita
Publikováno v:
IEEE Journal of the Electron Devices Society, Vol 7, Pp 825-828 (2019)
This paper reports new findings about the plasma-induced damage on silicon on thin buried oxide (BOX) transistor. The plasma charge collected by source or drain causes Vth shift, which depends on BOX thickness. In addition, the observation was made t
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/3b959f8b90d34fc6ad7bbb408fe5fe6f