Zobrazeno 1 - 10
of 277
pro vyhledávání: '"Philipossian, Ara"'
Previous studies have shown that spectral analysis based on force data can elucidate fundamental physical phenomena during chemical mechanical planarization (CMP). While it has not been literally described elsewhere, such analysis was partly motivate
Externí odkaz:
http://hdl.handle.net/10150/627056
http://arizona.openrepository.com/arizona/handle/10150/627056
http://arizona.openrepository.com/arizona/handle/10150/627056
In this study, slurry availability and the extent of the slurry mixing (i.e., among fresh slurry, spent slurry, and residual rinse-water) were varied via three different injection schemes. An ultraviolet enhanced fluorescence technique was employed t
Externí odkaz:
http://hdl.handle.net/10150/625063
http://arizona.openrepository.com/arizona/handle/10150/625063
http://arizona.openrepository.com/arizona/handle/10150/625063
Autor:
Mu, Yan, Zhuang, Yun, Sampurno, Yasa, Wei, Xiaomin, Ashizawa, Toranosuke, Morishima, Hiroyuki, Philipossian, Ara
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 1 May 2016 157:60-63
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 5 January 2016 149:37-40
Publikováno v:
Diffusion and Defect Data Part B: Solid State Phenomena; August 2023, Vol. 346 Issue: 1 p311-317, 7p
Autor:
Sampurno, Yasa, Sudargho, Fransisca, Zhuang, Yun, Ashizawa, Toranosuke, Morishima, Hiroyuki, Philipossian, Ara
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2011 88(9):2857-2861
Autor:
Sampurno, Yasa, Borucki, Leonard, Zhuang, Yun, Misra, Sudhanshu, Holland, Karey, Boning, Duane, Philipossian, Ara
Publikováno v:
In Thin Solid Films 2009 517(5):1719-1726
Publikováno v:
In Thin Solid Films 2008 516(21):7667-7674
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.