Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Philip J. Coane"'
Autor:
Craig R. Friedrich, Robert Warrington, Walter Bacher, Werner Bauer, Philip J. Coane, Jost Göttert, Thomas Hanemann, Jürgen Haußelt, Mathias Heckele, Regina Knitter, Jürgen Mohr, Volker Piotter, Hans-Joachim Ritzhaupt-Kleissl, Robert Ruprecht
The development of silicon microcomponents and microsystems, being an outgrowth of the processing techniques commonly used for the fabrication of integrated circuits, was constrained to mostly planar dimensions. This was because optical lithography a
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2bc27d24f5261a174968d00a757ffa28
https://doi.org/10.1117/3.2265071.ch6
https://doi.org/10.1117/3.2265071.ch6
Autor:
Philip J. Coane, Kaolin G. Chiong, Mary B. Rothwell, James Warnock, John D. Cressler, Fritz J. Hohn, Michael G. Thomson
Publikováno v:
Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing III.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1d66e8e3f4404f0a24e1606cde2ca809
https://doi.org/10.1117/12.146502
https://doi.org/10.1117/12.146502
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.