Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Phil Grothe"'
Autor:
Joel Barnett, David C. Frystak, Gary E. Miner, John Kuehne, Phil Grothe, Rick L. Wise, Burt W. Fowler
Publikováno v:
MRS Proceedings. 470
A single wafer gate cluster tool has been evaluated in an effort to quantify the effects of gate clustering on defect density, process capability and device performance. The single wafer gate cluster tool consists of a hydrofluoric vapor (HF-vapor) p
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.