Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"Ph. Lyan"'
Autor:
Alexis Farcy, D. Bouchu, F. Gaillard, Romano Hoofman, L.G. Gosset, Joaquim Torres, Pascal Bancken, V. Nguyen Hoang, Greja Johanna Adriana Maria Verheijden, J. Michelon, T. Vandeweyer, Ph. Lyan, Roel Daamen, J. de Pontcharra, Vincent Arnal
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 82:321-332
The integration of air gaps for advanced Cu interconnects is mandatory to achieve the performances required for high performance integrated circuits (ICs). The interest of their introduction as a function of the chosen architecture, i.e. hybrid (i.e.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8034fc4e79c100236edbe24d975b291f
https://doi.org/10.1016/j.mee.2005.07.014
https://doi.org/10.1016/j.mee.2005.07.014
Autor:
F. Gaillard, S. Orain, O. Louveau, L.G. Gosset, Ph. Lyan, O. Cueto, Joaquim Torres, Gérard Passemard, J. de Pontcharra, D. Bouchu, R. Gras
Publikováno v:
2007 IEEE International Interconnect Technology Conferencee.
The introduction of air gaps in multi-level Cu interconnect stacks will be mandatory to achieve high performance signal propagation characteristics for advanced technology node. In this paper, air cavities were successfully introduced in a two-metal
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e2b25b7cdba89864e5c064a1d68b3ec9
https://doi.org/10.1109/iitc.2007.382348
https://doi.org/10.1109/iitc.2007.382348
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.