Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Pete Hagerty"'
Autor:
Debra Fenzel-Alexander, Don Hofer, Hiroshi Ito, Greg Breyta, Pete Hagerty, R. A. Dipietro, Ron Nunes, Will Conley, Jim Thackeray, S. Holmes
Publikováno v:
Journal of Photopolymer Science and Technology. 9:557-572
A production-worthy deep UV resist system built on the ESCAP platform is described. The resist consists of a thermally and hydrolytically stable resin and acid generator and thus can be heated at high temperatures forfree volume reduction, which prov
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.