Zobrazeno 1 - 3 of 3 pro vyhledávání: '"Passow, Michael L."'
1
Akademický článek
Chamber material effects on actinometric measurements in rf glow discharges.
Autor: Cotler, Tina J., Passow, Michael L., Fournier, Jeffrey P., Brake, Mary L., Elta, Michael E.
Publikováno v: Journal of Applied Physics; 3/1/1991, Vol. 69 Issue 5, p2885, 4p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
Infrared absorption spectroscopy for monitoring condensible gases in chemical vapor deposition applications.
Autor: O'Neill, James A., Passow, Michael L., Cotler, Tina J.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1994, Vol. 12 Issue 3, p839-845, 7p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
A solution for pressure variations in vacuum process tools due to pressure regulator fluctuations.
Autor: Fournier, Jeffrey P., Passow, Michael L., Cotler, Tina J., Elta, Michael E.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1991, Vol. 9 Issue 2, p358-359, 2p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje