Zobrazeno 1 - 10
of 17
pro vyhledávání: '"Park Youjung"'
Autor:
Hui-Chan Yun, Jin-Hyung Kim, Park Youjung, Seulgi Jeong, Byeri Yoon, Yoona Kim, Jae-Yeol Baek, Sang-Hak Lim
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
For multilayer process, importance of carbon-based spin-on hardmask material that replaces amorphous carbon layer (ACL) is ever increasing. Carbon-based spin-on hardmask is an organic polymer with high carbon content formulated in organic solvents fo
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0cb3bedab0f875bac01695e187aae843
https://doi.org/10.1117/12.2257880
https://doi.org/10.1117/12.2257880
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Hohle, Christoph K., Gronheid, Roel, Yun, Huichan, Kim, Jinhyung, Park, Youjung, Kim, Yoona, Jeong, Seulgi, Baek, Jaeyeol, Yoon, Byeri, Lim, Sanghak
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2017, Vol. 10146 Issue: 1 p1014624-1014624-9
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
ChemInform; May2012, Vol. 43 Issue 21, pno-no, 1p
Publikováno v:
ChemInform; May2010, Vol. 41 Issue 20, p-1, 1p
Publikováno v:
ChemInform; May 2012, Vol. 43 Issue: 21 pno-no