Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Pamarty, Abhijit Pranav"'
Autor:
Pamarty, Abhijit Pranav, Neuweiler, Robert, Do, Le Quyen, Johnson, Keaton, Sanchez, James J., Koli, Dinesh
Reliable predictions of the etch rate profile are desirable in semiconductor manufacturing to prevent etch rate target misses and yield rate excursions. Conventional methods for analyzing etch rate require extensive metrology, which adds considerable
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2409.12925
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.