Zobrazeno 1 - 10
of 79
pro vyhledávání: '"Palov, A. P."'
Autor:
Vishnevskiy, Alexey S., Seregin, Dmitry S., Palov, Alexander P., Orlov, Georgy A., Yakushev, Vladislav A., Ovchinnikov, Ivan S., Vorotilov, Konstantin A., Baklanov, Mikhail R.
Publikováno v:
In Microporous and Mesoporous Materials 1 January 2024 363
Autor:
Zotovich, A. I., Zyryanov, S. M., Lopaev, D. V., Rezvanov, A. A., Attallah, A. G., Liedke, M. O., Butterling, M., Bogdanova, M. A., Vishnevskiy, A. S., Seregin, D. S., Vorotyntsev, D. A. V., Palov, A. P., Hirschmann, E., Wagner, A., Naumov, S., Vorotilov, K. A., Rakhimova, T. V., Rakhimov, A. T. R., Baklanov, M.
Publikováno v:
Publication date: 2023-01-11 Open accessDOI: 10.14278/rodare.2075Versions: 10.14278/rodare.2076License: CC-BY-4.0
Modification of spin-on-deposited porous PMO (periodic mesoporous organosilica) ultralow-k (ULK) SiCOH films (k = 2.33) containing both methyl terminal and methylene bridging groups by vacuum ultraviolet (VUV) emission from Xe plasma is studied. The
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______4577::3f190b8e1ba4209058266a65e8140d52
https://www.hzdr.de/publications/Publ-36205-1
https://www.hzdr.de/publications/Publ-36205-1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Zotovich, A. I., Zyryanov, S. M., Lopaev, D. V., Rezvanov, A. A., Attallah, A. G., Liedke, M. O., Butterling, M., Bogdanova, M. A., Vishnevskiy, A. S., Seregin, D. S., Vorotyntsev, D. A. V., Palov, A. P., Hirschmann, E., Wagner, A., Naumov, S., Vorotilov, K. A., Rakhimova, T. V., Rakhimov, A. T. R., Baklanov, M.
Publikováno v:
ACS Applied Electronic Materials 4(2022)6, 2760-2776
Modification of spin-on-deposited porous PMO (periodic mesoporous organosilica) ultralow-k (ULK) SiCOH films (k = 2.33) containing both methyl terminal and methylene bridging groups by vacuum ultraviolet (VUV) emission from Xe plasma is studied. The
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______4577::220133d2c40ef70def61c403aef8816d
https://www.hzdr.de/publications/Publ-35036-1
https://www.hzdr.de/publications/Publ-35036-1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Zotovich, Alexey I., Zyryanov, Sergey M., Lopaev, Dmitry V., Rezvanov, Askar A., Attallah, Ahmed G., Liedke, Maciej O., Butterling, Maik, Bogdanova, Maria A., Vishnevskiy, Alexey S., Seregin, Dmitry S., Vorotyntsev, Dmitry A., Palov, Alexander P., Hirschmann, Eric, Wagner, Andreas, Naumov, Sergej, Vorotilov, Konstantin A., Rakhimova, Tatyana V., Rakhimov, Alexander T., Baklanov, Mikhail R.
Publikováno v:
ACS Applied Electronic Materials; 6/28/2022, Vol. 4 Issue 6, p2760-2776, 17p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.