Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"P.L. Skrynskyy"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
A.I. Stegniy, L.A. Ivashchenko, P.L. Skrynskyy, O. K. Porada, Sergey Dub, Volodymyr Ivashchenko
Publikováno v:
Surface and Coatings Technology. 200:6533-6537
PECVD amorphous hydrogenated silicon carbide (a-SiC:H) thin films have been deposited from methyltrichlorosilane (MTCS) onto (100) Si substrates varying a substrate temperature ( T S ) from 200 to 600 °C. The use of MTCS as a precursor allows us to
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::55810baf4ed17099e607d4fd85d2c9a7
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.11.087
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.11.087
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.