Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"P.J. Klomberg"'
Autor:
Harrie Tilmans, D.H. Jones, D.W. Burns, Henry Guckel, P.J. Klomberg, D.W. DeRoo, Todd R. Christenson, C.C.G. Visser, J.J. Sniegowski
Publikováno v:
IEEE Technical Digest on Solid-State Sensor and Actuator Workshop.
The processing conditions to obtain high-quality and repeatable polysilicon films are described. These include substrate preparation, the deposition procedure, reactor configuration, and postdeposition treatment. Examples of large-aspect-ratio micros
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0f0323e5dea857829332590fb5c60807
https://doi.org/10.1109/solsen.1988.26431
https://doi.org/10.1109/solsen.1988.26431
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.