Zobrazeno 1 - 10
of 18
pro vyhledávání: '"P. Tzviatkov"'
Autor:
O. Otto, Kurt G. Ronse, Patrick Jaenen, P. Tzviatkov, Casper A. H. Juffermans, Rik Jonckheere, L. Van den hove, Anthony Yen, J. Garofalo, A. Wong
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 30:141-144
In printing random logic circuits down to 0.3 μm using i-line lithography, optical proximity correction is required to maintain across-the-chip linewidth uniformity. Using a rule-based approach with parametric anchoring, process characterization tim
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7c962dab7379b2f2a1803cbcc67f0daa
https://doi.org/10.1016/0167-9317(95)00213-8
https://doi.org/10.1016/0167-9317(95)00213-8
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Yen, Anthony, Tzviatkov, P., Wong, A., Juffermans, C., Jonckheere, R., Jaenen, P., Garofalo, J., Otto, O., Ronse, K., Van den hove, L.
Publikováno v:
Microelectronic Engineering; January 1996, Vol. 30 Issue: 1-4 p141-144, 4p
Publikováno v:
Microelectronic Engineering; 1998, Vol. 41 Issue: 1 p111-116, 6p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.