Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"P. Haltebourg"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
P. Haltebourg, J.-F. Hergott, F. Chichmanian, Didier Normand, E. Caprin, D. Descamps, T. Ceccotti, O. Sublemontier, M. Schmidt, Marc Segers, S. Hulin, M. Bougeard
Publikováno v:
Journal de Physique IV (Proceedings). 108:267-270
Le Groupe des Applications Plasma (GAP) du CEA a Saclay participe au projet national PREUVE du Reseau Micro- et Nano-Technologies. Ce projet a ete lance fin 1999 pour reunir et developper les competences en France sur la lithographie dans l'extreme u
Autor:
Dominique Descamps, Didier Normand, Martin Schmidt, Tiberio Ceccotti, Jean-Marc Weulersse, E. Marquis, Jean-Marie Barbiche, Ph. D'Aux, S. Hulin, R. Bernard, Benoit Barthod, P. Haltebourg, Marc Segers, F. Chichmanian, Olivier Sublemontier, E. Veran, Jean-Francois Hergott, Philippe Cormont, Pierre-Yves Thro, Michel Neu
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Within the PREUVE project, the GAP of CEA Saclay has developed an EUV source that should meet (alpha) -tool specifications by the end of this year. In particular, a laser-produced plasma source has been developed that uses a dense and confined xenon
Autor:
Segers, M., Bougeard, M., Caprin, E., Ceccotti, T., Chichmanian, F., Descamps, D., Haltebourg, P., Hergott, J.-F., Hulin, S., Normand, D., Schmidt, M., Sublemontier, O., Segers, M., Bougeard, M., Caprin, E., Ceccotti, T., Chichmanian, F., Descamps, D., Haltebourg, P., Hergott, J.-F., Hulin, S., Normand, D., Schmidt, M., Sublemontier, O.
Publikováno v:
Journal de Physique IV - Proceedings; June 2003, Vol. 108 Issue: 1 p267-270, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Langmuir; Apr2007, Vol. 23 Issue 8, p4296-4302, 7p
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.