Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"P. Foxhoven"'
Publikováno v:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 10:418-424
An analysis of throughput in a cluster tool with a dual-blade robot operating in steady-state mode is presented. The analysis is based on a single-wafer serial processing cluster tool. Two types of schedules are distinguished, called transport-bound
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1346802d033ca96e231494bd96524ab7
https://doi.org/10.1109/66.641483
https://doi.org/10.1109/66.641483
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.