Zobrazeno 1 - 10
of 104
pro vyhledávání: '"Ottosson, N."'
Autor:
Zhang, Y., Haitjema, J., Liu, X., Johansson, F., Lindblad, A., Castellanos Ortega, S., Ottosson, N., Brouwer, A.M., Hohle, C.K.
Publikováno v:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS and MOEMS, 16(2):023510. SPIE
Advances in Patterning Materials and Processes XXXIV: 27 February–2 March 2017, San Jose, California, United States
Advances in Patterning Materials and Processes XXXIV
Advances in Patterning Materials and Processes XXXIV: 27 February–2 March 2017, San Jose, California, United States
Advances in Patterning Materials and Processes XXXIV
Several metal-containing molecular inorganic materials are currently considered as photoresists for extreme ultraviolet lithography (EUVL). This is primarily due to their high EUV absorption cross section and small building block size, properties whi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::8a8972d5b1203d12536611d22729a587
http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-327125
http://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:uu:diva-327125
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
The Journal of Physical Chemistry - Part C; 20240101, Issue: Preprints
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.