Zobrazeno 1 - 10
of 10
pro vyhledávání: '"Otaka, Tadashi"'
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p798-806, 9p
Autor:
Rice, Bryan J., Crays, Gary L., Danilevsky, Alex, Grumski, Michael G., Koshihara, Shunsuke, Otaka, Tadashi, Roberts, Jeanette M.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p1247-1253, 7p
Quantification of CD-SEM wafer global charging effect on CD and CD uniformity of 193-nm lithography.
Autor:
Ke, Chih-Ming, Hung, Hsueh-Liang, Chang, Anderson, Chen, Jeng-Horng, Gau, Tsai-Sheng, Ku, Yao-Ching, Lin, Burn J., Otaka, Tadashi, Ueda, Kazuhiro, Kawada, Hiroki, Nomura, Hiroaki, Ren, Nelson
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p173-182, 10p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2003, Issue 1, p861-865, 5p
Autor:
Ke, Chih-Ming, Gau, Tsai-Sheng, Chen, Pei-Hung, Yen, Anthony, Lin, Burn J., Otaka, Tadashi, Iizumi, Takashi, Sasada, Katsuhiro, Ueda, Kazuo
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p997-1006, 10p
Autor:
Yoshimura, Toshiyuki, Ezumi, Makoto, Otaka, Tadashi, Todokoro, Hideo, Yamamoto, Jiro, Terasawa, Tsuneo
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1998, Issue 1, p61-70, 10p
Development of critical dimension measurement scanning electron microscope for ULSI (S-8000 series).
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1996, Issue 1, p105-113, 9p
Publikováno v:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS; Oct2005, Vol. 4 Issue 4, p043007-043007-8, 8p
Autor:
Ebana, Minoru, Nomura, Yukihiro, Watanabe, Toshiyuki, Shirai, Kenji, Otaka, Tadashi, Soma, Susumu, Jin, Kazumi, Sumiya, Shuichi, Fukasawa, Kunio
Publikováno v:
PNC TN8530 87-004.
動燃東海事業所では再処理施設、プルトニウム燃料製造施設等核燃料サイクルに関連する数多くの施設が運転され、運転に合わせた約30年間の放射線管理の経験を有している。放射線管
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::7ece2691ce38b6d17978cea1d787c7f4
https://jopss.jaea.go.jp/search/servlet/search?4023212
https://jopss.jaea.go.jp/search/servlet/search?4023212
Periodical
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.