Výsledky vyhledávání

Knihovna AV ČR, v. v. i.

Odhlásit
Přihlášení
Jazyk
- English
- Čeština
Instituce

Pokročilé vyhledávání

Zahrnout EIZ

Zachovat současné nastavení filtrů

EXPAND:"fulltext"

Domovská stránka
Vyhledávání: "Ohfuji T"
Navrhnout nákup titulu

Zobrazeno 1 - 10 of 132 pro vyhledávání: '"Ohfuji T"'

Řazení

Vybrat vše | Vybrané výsledky:

Vybrat výsledek číslo 1 1

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vybrat výsledek číslo 2 2

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vybrat výsledek číslo 3 3

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vybrat výsledek číslo 4 4

Akademický článek

T-top forming simulation using percolation theory.

Autor: Kamon, K., Nakazawa, K., Yamaguchi, A., Matsuzawa, N., Ohfuji, T., Kanzaki, K., Tagawa, S.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1997, Vol. 15 Issue 6, p2610-2615, 6p

Zobrazit plný text záznamu

Vybrat výsledek číslo 5 5

Akademický článek

Prospect and challenges of ArF excimer laser lithography processes and materials.

Autor: Ohfuji, T., Ogawa, T., Kuhara, K., Sasago, M.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1996, Vol. 14 Issue 6, p4203-4206, 4p

Zobrazit plný text záznamu

Vybrat výsledek číslo 6 6

Akademický článek

Reaction modeling of chemically amplified resists for ArF excimer laser lithography.

Autor: Ohfuji, T., Nakano, K., Maeda, K., Hasegawa, E.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1995, Vol. 13 Issue 6, p3022-3025, 4p

Zobrazit plný text záznamu

Vybrat výsledek číslo 7 7

Conference

Multi-generation device fabrication by ArF lithography.

Autor: Mori, S., Morisawa, T., Matsuzawa, N., Kaimoto, Y., Endo, M., Matsuo, T., Takahashi, M., Naito, T., Naruse, Y., Kishimura, S., Takechi, S., Yamaguchi, A., Uematsu, M., Onodera, T., Nakazawa, K., Kamon, K., Tatsumi, T., Morishita, S., Kuhara, K., Ohfuji, T.

Publikováno v: International Electron Devices Meeting IEDM Technical Digest; 1997, p933-935, 3p

Zobrazit plný text záznamu

Vybrat výsledek číslo 8 8

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vybrat výsledek číslo 9 9

Periodical

Preparation of La2NiO4films by d.c. sputtering on cubic ZrO2

Autor: Echigoya, J., Ohfuji, T., Suto, H.

Publikováno v: Journal of Materials Science Letters; January 1994, Vol. 13 Issue: 15 p1098-1100, 3p

Zobrazit plný text záznamu

Vybrat výsledek číslo 10 10

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vybrat vše | Vybrané výsledky:

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
Další »
[14]

Vyhledávací nástroje:

RSS
Poslat e-mailem

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání

Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR

Zdroje

Pouze tištěné dokumenty

Zahrnout EIZ

107 Akademické články
24 Konferenční materiály
2 Časopisy

14 chemically amplified resist
8 resist
6 arf excimer laser
6 arf lithography
6 lithography
6 photoresist
5 afm
5 arf
5 development
5 simulation
4 193 nm
4 sensitivity
3 arf excimer laser lithography
3 chemical amplification
3 diffusion
3 dissolution rate
3 dry development
3 percolation model
3 percolation theory
3 top surface imaging
2 acid generator
2 arf excimer-laser
2 arf resist
2 attenuated phase-shifting mask
2 basis-sets
2 bottom antireflective coating
2 density functional calculations
2 density functional theory
2 dielectric constant
2 dry etching
2 eb
2 energies
2 glomerulonephritis
2 grain boundary character
2 high purity iron
2 hydrocephalus
2 hydrogenated silicon oxynitride
2 krf excimer laser
2 line edge roughness
2 meropenem
2 novolak
2 peb
2 performance
2 photoacid generator
2 process margin
2 reaction energy
2 resist surface
2 silsesquioxane
2 silylation
2 temperature

11 tokai university
9 japan society of applied physics
4 ieee
3 amer chemical soc
3 american institute of physics
3 japanese society of internal medicine
3 japanese society of nephrology
3 spie
2 american institute of physics inc.
2 institute of electrical and electronics engineers inc.
2 japan j applied physics
2 japan society for precision engineering
2 nec corporation
1 american college of physicians
1 american college of physicians--american society of internal medicine
1 american inst of physics
1 avs science and technology society
1 chapman hall ltd
1 elsevier b.v.
1 inst pure applied physics
1 japan inst metals
1 japan soc applied physics
1 japan soc biosci biotechn agrochem
1 japanese society for tuberculosis
1 japanese urological association
1 karger
1 kluwer academic publishers
1 nihon allergy gakkai
1 pharmaceutical soc japan
1 pharmaceutical society of japan
1 royal soc chemistry
1 royal society of chemistry
1 soc polymer science japan
1 society of polymer science
1 springer-verlag
1 wiley-blackwell

20 nishinihon journal of urology
18 proceedings of spie - the international society for optical engineering
11 journal of photopolymer science and technology
9 japanese journal of applied physics, part 1: regular papers and short notes and review papers
5 chemotherapy
4 journal of vacuum science and technology b: microelectronics and nanometer structures
3 agricultural and biological chemistry
3 japanese journal of applied physics part 1-regular papers short notes & review papers
3 journal of materials science letters
3 journal of vacuum science & technology: part b-microelectronics & nanometer structures
3 nihon jinzo gakkai shi
2 abstracts of papers of the american chemical society
2 annals of internal medicine
2 cheminform
2 digest of papers - microprocesses and nanotechnology 1998: 1998 international microprocesses and nanotechnology conference
2 digest of papers microprocesses & nanotechnology'98 198 international microprocesses & nanotechnology conference (cat no98ex135)
2 internal medicine
2 internal medicine tokyo japan
2 japanese journal of chemotherapy
2 journal of agricultural and food chemistry
2 journal of materials chemistry
2 journal of poultry science
2 kobunshi ronbunshu
2 nec research & development
2 nuclear instruments and methods in physics research
2 seimitsu kogaku kaishi/journal of the japan society for precision engineering
2 the japanese journal of nephrology
2 urologia internationalis
1 arerugi allergy
1 chemical & pharmaceutical bulletin
1 chemical and pharmaceutical bulletin
1 chemical pharmaceutical bulletin
1 international electron devices meeting iedm technical digest
1 japanese journal of allergology
1 japanese journal of applied physics
1 japanese journal of applied physics part 1-regular papers brief communications & review papers
1 japanese journal of urology
1 kekkaku
1 lipids
1 materials transactions jim
1 materials transactions, jim
1 neurologia medico-chirurgica
1 nihon hinyokika gakkai zasshi the japanese journal of urology
1 proceedings of 1994 vlsi technology symposium

96 Scopus®
15 Science Citation Index Expanded
10 MEDLINE
8 Complementary Index
2 Supplemental Index
1 ScienceDirect

Od:

do:

Možnosti vyhledávání

Tematická mapa
Historie vyhledávání
Pokročilé vyhledávání

Objevte více

Abecední procházení

Hledáte pomoc?

Tipy pro vyhledávání

načítá se......