Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"O.S. Gogish-Klushina"'
Autor:
D. Yu. Kharitonov, Andrey Sokolov, O.S. Gogish-Klushina, A. V. Pisliakov, Nikolay Samotaev, R. G. Pavelko, Alexei Vasiliev, S. Yu. Gogish-Klushin
Publikováno v:
Sensors and Actuators B: Chemical. 132:216-223
In this paper, we discuss the use of a novel ceramic MEMS (CeraMEMS) technology based on the application of thin alumina film (TAF). The membrane is fabricated by the electrolyte spark oxidation of aluminum, consists of nano-crystalline γ-aluminum o
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4bea9af8cd24fdcd378c9e78425b4c36
https://doi.org/10.1016/j.snb.2008.01.043
https://doi.org/10.1016/j.snb.2008.01.043
Autor:
S. Yu. Gogish-Klushin, Andrey Sokolov, D. Yu. Kharitonov, O.S. Gogish-Klushina, Alexei Vasiliev, R. G. Pavelko, Nikolay Samotaev
Publikováno v:
TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference.
In the presentation, we discuss the application of a novel MEMS technology based on a fabrication of thin alumina film (TAF). The membrane is fabricated by the electrolyte spark oxidation of aluminum. The membrane consists of nano-crystalline gamma-a
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::74be9c50af2d6836f2207d1b907144fd
https://doi.org/10.1109/sensor.2007.4300563
https://doi.org/10.1109/sensor.2007.4300563
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.