Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"O. Le-Borgne"'
Autor:
Patrick Schiavone, Pierre-Jerome Goirand, S. Manakli, Yorick Trouiller, P. Spinelli, Yves Rody, O. Le-Borgne, J.-P. Chollet
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. :123-132
In optical lithography, the use of multiple focal planes with different energy and focus improves the photolithography performances like the Depth of Focus (DOF) and the Energy Latitude (EL). We have chosen to use a symmetrical double exposure (symme
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e3a089ab84a1530cd27e73b845601866
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(02)00521-x
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(02)00521-x
Autor:
Blandine Minghetti, S. Manakli, C. Soonekindt, L. Pain, B. Icard, J. C. Le Denmat, O. Le borgne
Publikováno v:
23rd European Mask and Lithography Conference.
Electron Beam Direct Write (EBDW) is involved today in advanced devices manufacturing and technology node development. As a consequence, EBDW is supporting an increasing number of technologies and several layers per technology. In this context, an EB
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::36278a138bdeefe432157a9274fb08a4
https://doi.org/10.1117/12.736519
https://doi.org/10.1117/12.736519
Autor:
O. Le Borgne
Publikováno v:
Annales de Bretagne et des pays de l’Ouest. 81:635-640
Le Borgne O. Un témoin de la liberté de l'esprit, saint Louis-Marie Grignion de Montfort. In: Annales de Bretagne et des pays de l'Ouest. Tome 81, numéro 3, 1974. Prédication et théologie populaire au temps de Grignion de Montfort. pp. 635-640.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::30687b16e7a17ec7ed4596359a6aaa2e
https://doi.org/10.3406/abpo.1974.2747
https://doi.org/10.3406/abpo.1974.2747
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.