Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"O. Alexeyenko"'
Autor:
A. V. Kozlov, S. N. Dugin, Efim Oks, S. Minaev, R. P. Kuibeda, Vasily Gushenets, Ady Hershcovitch, Timur Kulevoy, O. Alexeyenko, G. N. Kropachev, D. N. Seleznev, Alexey S. Bugaev, G. Yu. Yushkov, Alexey V. Vizir
Publikováno v:
Review of Scientific Instruments. 87:02B702
Smaller semiconductors require shallow, low energy ion implantation, resulting space charge effects, which reduced beam currents and production rates. To increase production rates, molecular ions are used. Boron and phosphorous (or arsenic) implantat
Autor:
B. Jonson, R. P. Kuibeda, Efim Oks, Vasily Gushenets, A. V. Kozlov, G. N. Kropachev, S. N. Dugin, Ady Hershcovitch, Timur Kulevoy, O. Alexeyenko, D. N. Seleznev, H. J. Poole
Publikováno v:
Review of Scientific Instruments. 85:02A501
Bernas ion source development to meet needs of 100s of electron-volt ion implanters for shallow junction production is in progress in Institute for Theoretical and Experimental Physics. The ion sources provides high intensity ion beam of boron cluste
Autor:
E. Gurkova, Vasily Gushenets, R. P. Kuibeda, D. N. Seleznev, B. Jonson, Efim Oks, S. M. Polozov, G. N. Kropachev, O. Alexeyenko, Timur Kulevoy, A. V. Kozlov, E. S. Masunov, V. A. Koshelev, Ady Hershcovitch, J. Poole
Publikováno v:
Review of Scientific Instruments. 81:02B901
A joint research and development of steady state intense boron ion sources for hundreds of electron-volt ion implanters has been in progress for the past 5 years. The difficulties of extraction and transportation of low energy boron beams can be solv
Autor:
B. M. Johnson, H. J. Poole, O. Alexeyenko, P. A. Storozhenko, A. V. Koslov, R. P. Kuibeda, Vasily Gushenets, Yu. B. Stasevich, Timur Kulevoy, Ady Hershcovitch, V. A. Batalin, Efim Oks, E. Gurkova, V. I. Pershin, S. V. Petrenko
Publikováno v:
Review of Scientific Instruments. 77:03C102
A joint research and development program is under way to develop steady-state intense ion sources for the two energy extremes of MeV and hundreds of eV. The difficulties of extraction and transportation of low-energy boron beams are investigated usin
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.