Zobrazeno 1 - 2 of 2 pro vyhledávání: '"Nowlin, Robert N."'
1
Periodical
Spectroscopic diagnostics of temperature-controlled trench etching of silicon
Autor: Krogh, Ole, Carlile, Robert N., Nowlin, Robert N.
Publikováno v: Plasma Chemistry and Plasma Processing; June 1995, Vol. 15 Issue: 2 p231-255, 25p
Zobrazit plný text záznamu
2
Periodical
Spectroscopic diagnostics of temperature-controlled trench etching of silicon
Autor: Krogh, Ole, Carlile, Robert N., Nowlin, Robert N.
Publikováno v: Plasma Chemistry and Plasma Processing; June 1990, Vol. 10 Issue: 2 p231-246, 16p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje