Zobrazeno 1 - 5 of 5 pro vyhledávání: '"Nonobe, Shinichi"'
2
Akademický článek
Growth of HfO 2 films using an alternate reaction of HfCl 4 and O 2 under atmospheric pressure
Autor: Takahashi, Naoyuki *, Nonobe, Shinichi, Nakamura, Takato
Publikováno v: In Journal of Solid State Chemistry 2004 177(11):3944-3948
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Growth of HfO2 films using an alternate reaction of HfCl4 and O2 under atmospheric pressure
Autor: Takahashi, Naoyuki tntakah@ipc.shizuoka.ac.jp, Nonobe, Shinichi1, Nakamura, Takato1
Publikováno v: Journal of Solid State Chemistry. Nov2004, Vol. 177 Issue 11, p3944-3948. 5p.
Zobrazit plný text záznamu
4
Akademický článek
Self-limiting growth of ZrO2 films on a Si(100) substrate using ZrCl4 and O2 under atmospheric pressure.
Autor: Takahashi, Naoyuki, Yoshii, Naoki, Nonobe, Shinichi, Nakamura, Takato, Yoshioka, Masayuki
Publikováno v: Journal of Electronic Materials; Oct2003, Vol. 32 Issue 10, p1107-1110, 4p
Zobrazit plný text záznamu
5
Akademický článek
Preparation of HfO2 nano-films by atomic layer deposition using HfCl4 and O2 under atmospheric pressure
Autor: Nonobe, Shinichi1, Takahashi, Naoyuki tntakah@ipc.shizuoka.ac.jp, Nakamura, Takato1
Publikováno v: Solid State Sciences. Nov2004, Vol. 6 Issue 11, p1217-1219. 3p.
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje