Zobrazeno 1 - 10
of 35
pro vyhledávání: '"Nishiyama Itsuo"'
Publikováno v:
In Surface & Coatings Technology 2010 205(2):419-422
Publikováno v:
In Vacuum 2009 84(5):607-611
Friction and adhesion properties of fluorocarbon polymer thin films prepared by magnetron sputtering
Publikováno v:
In Vacuum 2009 84(5):592-596
Autor:
Nishiyama Itsuo, Kunihiko Koike, Seiji Takahashi, Hideo Horibe, Ritsu Kamoto, Akihiko Kono, Yukihiro Angata, Yousuke Goto
Publikováno v:
KAGAKU KOGAKU RONBUNSHU. 39:144-149
Autor:
Toshiyuki Sanada, Hideo Horibe, Nishiyama Itsuo, Masao Watanabe, Takashi Mashiko, Atsushi Hayashida
Publikováno v:
Solid State Phenomena. 187:85-88
We performed two experiments on resist-coated wafers. In the measurement of the resist-wafer adhesivity, we confirmed that it is significantly increased by an HMDS layer in between. In the resist-removal experiment using steam-water mixed spray, we f
Publikováno v:
Journal of The Adhesion Society of Japan. 41:223-226
Publikováno v:
In Materials Letters 2012 66(1):144-146
Publikováno v:
The Proceedings of the Thermal Engineering Conference. 2011:213-214
Publikováno v:
In Materials Letters 2009 63(26):2257-2259
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.