Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"Ning Kang Huang"'
Effects of Bias on the Bonding Structure and Mechanical Property of a-C:H Films Deposited by MFPUMST
Publikováno v:
Advanced Materials Research. 507:38-43
Hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) films on silicon wafers were prepared by middle frequency pulsed unbalanced magnetron sputtering technique (MFPUMST) at different substrate bias under the methane-argon mixed gases. Raman spectra show that the sp
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0c9f21a21b93e3db469e497560a1f5a4
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/amr.507.38
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/amr.507.38
Autor:
Ning-Kang Huang
Publikováno v:
Journal of the Korean Physical Society. 55:2650-2653
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6afe421ca48417a2402f4dba5fd9bfa1
https://doi.org/10.3938/jkps.55.2650
https://doi.org/10.3938/jkps.55.2650
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Chinese Physics Letters; Jan 2005, Vol. 22 Issue 1, p175-177, 3p
Publikováno v:
Journal of Wuhan University of Technology; Sep2004, Vol. 19 Issue 3, p1-3, 3p
Publikováno v:
Vacuum; January 1990, Vol. 40 Issue: 3 p305-308, 4p
Publikováno v:
Journal of Materials Science Letters; Feb2000, Vol. 19 Issue 3, p225-227, 3p