Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Nigel Farrar"'
Publikováno v:
ECS Transactions. 34:231-236
In this paper, the technologies developed by Cymer to deliver clean EUV power will be reviewed. A high average power (>20kW) pulsed CO2 laser is used to create a Sn plasma by irradiating 30μm Sn droplets at a repetition rate of approximately 50kHz.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b83da80c6ca5b95c027d79cfb8990ca2
https://doi.org/10.1149/1.3567586
https://doi.org/10.1149/1.3567586
Autor:
Rudy Peeters, Joerg Mallman, Noreen Harned, Guido Schiffelers, Judon Stoeldraijer, David C. Brandt, Martijn van Noordenburg, Peter Kuerz, Herman Boom, Hans Meiling, Igor V. Fomenkov, Nigel Farrar, Alberto Pirati, Ron Kool, Sjoerd Lok, Eelco van Setten, Martin Lowisch
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
The first NXE3300B systems have been qualified and shipped to customers. The NXE:3300B is ASML’s third generation EUV system and has an NA of 0.33. It succeeds the NXE:3100 system (NA of 0.25), which has allowed customers to gain valuable EUV exper
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f5cfe941299b3433039ded216c54a839
https://doi.org/10.1117/12.2046909
https://doi.org/10.1117/12.2046909
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.