Výsledky vyhledávání - "Nevolin, P.V."

The features of temperature dependence of contact resistivity of Au-Ti-Pd₂Si-p⁺ ₋Si ohmic contacts

Autor: Belyaev, A.E., Boltovets, N.S., Kapitanchuk, L.M., Konakova, R.V., Kladko, V.P., Kudryk, Ya.Ya., Kuchuk, A.V., Lytvyn, O.S., Milenin, V.V., Korostinskaya, T.V., Ataubaeva, A.B., Nevolin, P.V.

We consider the features of formation of Au-Ti-Pd ohmic contacts to p⁺₋Si. Metallization was made by vacuum thermal sputtering of Pd, Ti and Au films onto the Si substrate heated up to 330 °С. It is shown that the contact resistivity increases

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1456::52cdda2336882ca72331d590b3f94e82
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117698

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání