Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Nevolin, P.V."'
Autor:
Belyaev, A.E., Boltovets, N.S., Kapitanchuk, L.M., Konakova, R.V., Kladko, V.P., Kudryk, Ya.Ya., Kuchuk, A.V., Lytvyn, O.S., Milenin, V.V., Korostinskaya, T.V., Ataubaeva, A.B., Nevolin, P.V.
We consider the features of formation of Au-Ti-Pd ohmic contacts to p⁺₋Si. Metallization was made by vacuum thermal sputtering of Pd, Ti and Au films onto the Si substrate heated up to 330 °С. It is shown that the contact resistivity increases
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1456::52cdda2336882ca72331d590b3f94e82
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117698
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117698
Publikováno v:
Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics. 2010, Vol. 13 Issue 4, p448-457. 10p.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.