Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Nealey, P.M."'
Autor:
Szmanda, C.S., Brainard, R.L., Mackevich, J.F., Awaji, A., Tanaka, T., Yamada, Y., Bohland, J., Tedesco, S., Dal'Zotto, B., Brünger, W.H., Torkler, M., Fallmann, W., Löschner, H., Käsmaier, R., Nealey, P.M., Pawloski, A.R.
A method for measuring acid generation efficiency is presented and utilized to determine the relative efficiency of four photoacid generators (PAGs) upon radiation with photon, electron, and ion beams. In this method, chemically amplified resists are
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______610::4a3cce690e34a78fd29ad0d1ad0aa756
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195365
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195365
Autor:
Szmanda, C.R., Brainard, R.L., Mackevich, J.F., Awaji, A., Tanaka, T., Yamada, Y., Bohland, J., Tedesco, S., Dalzotto, B., Bruenger, W., Torkler, M., Fallmann, W., Loeschner, H., Kaesmaier, R., Nealey, P.M., Pawloski, A.R.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______610::83f162d3e3006ba8ec59be88aadc45fb
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/194375
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/194375
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.