Zobrazeno 1 - 10
of 69
pro vyhledávání: '"Nakadate, Suezou"'
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
In order to produce various kind of circuit pattern in short-term cycle, mask-less exposure using DMD(digital mirror device)-mask is useful. Although not only fine resolution but also large DOF(depth of focus) can be obtained by using PSM(phase shift
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9f9770e877f2dbc4349dcfc40077c64a
https://doi.org/10.1117/12.2010770
https://doi.org/10.1117/12.2010770
Autor:
Jiang, Shibin, Digonnet, Michel J. F., Kasamatsu, Hidenori, Shibuya, Masato, Hiramatsu, Takashi, Araki, Keisuke, Nakadate, Suezou
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; February 2018, Vol. 10528 Issue: 1 p105281N-105281N-14, 10422834p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2008, Issue 1, p715702-715702-8, 8p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p62880D-62880D-10, 10p