Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"N.N. Curmei"'
Autor:
V.S. Zakhvalinskii, E.A. Piliuk, I. Yu Goncharov, A.V. Simashkevich, D.A. Sherban, L.I. Bruc, N.N. Curmei, M.I. Rusu, G.V. Rodrigez
Publikováno v:
Results in Physics, Vol 6, Iss , Pp 39-40 (2016)
Thin films of Si3N4 were prepared by non-reactive magnetron sputtering in an Ar atmosphere. A previously synthesized Si3N4 was used as a solid-state target. Deposition was carried out on a cold substrate of p-Si (100) with a resistivity of 2 Ohm cm.
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/dd9e026ae1fb48fa82c2436697fc45d8
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.