Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"N. W. Hwang"'
Autor:
N. W. Hwang, K. W. Park, Seong Soon Park, Ho-Seob Kim, Dae-Byung Kim, Sung-Soon Ahn, S. W. Jin, Young-Chul Kim, S. Y. Bae
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 85:782-786
Since Chang et al. reported the pioneering concept of micro-column, researches on the micro-column have been devoted to its application to low energy electron beam lithography with high throughput capabilities using arrayed micro-column structure [E.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5a3c3e50a61ee54ecfe0e3f208725ab7
https://doi.org/10.1016/j.mee.2007.12.042
https://doi.org/10.1016/j.mee.2007.12.042
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.