Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"N. Vilya"'
Autor:
N. I. Kargin, N. Vilya, М.М. Grekhov, S.N. Melnikov, Ivan Komissarov, D. A. Golosov, A. V. Avramchuk, S.М. Zavadski
Publikováno v:
Thin Solid Films. 690:137517
The present work focuses on the study of properties of hafnium oxide (HfO2) films, deposited by reactive magnetron sputtering of the Hf target in Ar/O2 gas mixture. The X-ray diffraction analysis of the deposited films proved the amorphous structure
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::56697d13bb382faf2c6f60b5d5fe540f
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.137517
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.137517
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.