Determination of stress in thin films using micro-machined buckled membranes

Autor: C. Malhaire, M. Granata, D. Hofman, A. Amato, V. Martinez, G. Cagnoli, A. Lemaitre, N. Shcheblanov

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology A. 41

In this work, optical profilometry and finite-element simulations are applied on buckled micromachined membranes for the stress analysis of ion-beam-sputtered Ta2O5 and SiO2 thin films. Layers with different thicknesses are grown on silicon substrate

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::972bf5c792da92fbb353eadf5d5d2895
https://doi.org/10.1116/6.0002590

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Laser Applications for Nanotechnology : Insights From Numerical Modeling

Autor: T. E. Itina, N. Shcheblanov, J.-Ph. Colombier, R. Stoian, E. Audouard, Th. Y. Derrien, R. Torres, J. Hermann, M. E. Povarnitsyn, K. V. Khishchenko, Claude Phipps

Publikováno v: AIP Conference Proceedings
AIP Conference Proceedings, American Institute of Physics, 2010, 1278, pp.38-50. ⟨10.1063/1.3507125⟩
AIP Conference Proceedings, 2010, 1278, pp.38-50. ⟨10.1063/1.3507125⟩
SPIE, High Power Laser Ablation
SPIE, High Power Laser Ablation, Apr 2010, Santa Fe, United States

International audience; Laser-produced nanoparticles have found many applications in bio-photonics, medicine and in the development of photovolvatic cells. Many experiments have been performed demonstrating the formation of these particles from solid

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::00e3f4039fd992d6f58a6aa63d239624
https://hal-ujm.archives-ouvertes.fr/ujm-00530658

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.