Výsledky vyhledávání - "N. M. Tompakova"

Investigation of the Effect of the Short-Term Exposure of Oxygen and Hydrogen Plasma on the Composition and Structure of Thin Tin Dioxide Films

Autor: N. M. Tompakova, A. A. Polisan

Publikováno v: Russian Microelectronics. 50:679-687

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8da5d8db48f5136f6bffd8afeb5e1ac5
https://doi.org/10.1134/s1063739721080126

Zobrazit plný text záznamu