Zobrazeno 1 - 9 of 9 pro vyhledávání: '"Muttalib M. Firdaus A."'
1
Akademický článek
Optimization of reactive-ion etching (RIE) parameters for fabrication of tantalum pentoxide (Ta2O5) waveguide using Taguchi method
Autor: Muttalib M. Firdaus A., Chen Ruiqi Y., Pearce S. J., Charlton Martin D. B.
Publikováno v: EPJ Web of Conferences, Vol 162, p 01003 (2017)
In this paper, we demonstrate the optimization of reactive-ion etching (RIE) parameters for the fabrication of tantalum pentoxide (Ta2O5) waveguide with chromium (Cr) hard mask in a commercial OIPT Plasmalab 80 RIE etcher. A design of experiment (DOE
Externí odkaz: https://doaj.org/article/cbf734b990694569b1df1763488a064e
Zobrazit plný text záznamu
7
Conference
Optimization of reactive-ion etching (RIE) parameters for fabrication of tantalum pentoxide (Ta2O5) waveguide using Taguchi method.
Autor: Muttalib, M. Firdaus A.1,2, Chen, Ruiqi Y.1 firdausmuttalib@unimap.edu.my, Pearce, S. J.1, Charlton, Martin D. B.1
Publikováno v: EPJ Web of Conferences. 2017, Vol. 162, p1-5. 5p. 3 Black and White Photographs, 1 Diagram, 4 Charts, 1 Graph.
Zobrazit plný text záznamu
8
Periodical
Tapered nanowire waveguide layout for rapid optical loss measurement by 'cut-back' technique
Autor: Vodopyanov, Konstantin L., Muttalib, M. Firdaus A., Chen, Ruiqi Y., Pearce, S. J., Charlton, Martin D. B.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; March 2013, Vol. 8604 Issue: 1 p86040Z-86040Z-8, 774369p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje