Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Mutsuo Nakashima"'
Autor:
Takanobu Takeda, Takeshi Kinsho, Yoshio Kawai, Jun Hatakeyama, Mutsuo Nakashima, Toshinobu Ishihara
Publikováno v:
Journal of Photopolymer Science and Technology. 17:519-525
Polysilsesquioxane (SSQ) and alternating-copolymers of silicon containing olefin with maleic anhydride (SiMA) have been employed as backbone polymers of silicon containing bilayer resists. Several kinds of functional alkoxysilanes to form SSQ and sil
Autor:
Mutsuo Nakashima, Yamamoto Satomi, Ichiro Kokubo, Kuwabara Masatoshi, Toshihiro Kosuge, Hidetake Ishikawa
Publikováno v:
Tetsu-to-Hagane. 69:611-617
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.