Zobrazeno 1 - 10 of 22 pro vyhledávání: '"Muray, L. P."'
1
Conference
Arrayed Lithography Using STM Based Microcolumns.
Autor: Chang, T. H. P., Muray, L. P., Staufer, U., McCord, M. A., Kern, D. P.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; 3/27/2017, Vol. 10308, p127-158, 32p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
3
Conference
Variable probe current using a condenser lens in a miniature electron beam column.
Autor: Silver, C. S., Spallas, J. P., Muray, L. P.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2009, Issue 1, p737810-737810-7, 7p
Zobrazit plný text záznamu
4
Akademický článek
Multiple beam sub-80-nm lithography with miniature electron beam column arrays.
Autor: Silver, C. S., Spallas, J. P., Muray, L. P.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; Nov/Dec2007, Vol. 25 Issue 6, p2258-2265, 8p, 1 Black and White Photograph, 4 Diagrams, 2 Graphs
Zobrazit plný text záznamu
5
Akademický článek
Arrayed miniature electron beam columns for mask making.
Autor: Spallas, J. P., Silver, C. S., Muray, L. P.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; Nov/Dec2006, Vol. 24 Issue 6, p2892-2896, 5p, 4 Black and White Photographs, 2 Diagrams, 2 Charts, 1 Graph
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
Sub- 100-nm lithography with miniature electron beam columns.
Autor: Muray, L. P., Silver, C. S., Spallas, J. P.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; Nov/Dec2006, Vol. 24 Issue 6, p2945-2950, 6p, 5 Black and White Photographs, 1 Diagram, 1 Chart, 2 Graphs
Zobrazit plný text záznamu
7
Akademický článek
Silicon photodiodes for low-voltage electron detection in scanning electron microscopy and electron beam lithography.
Autor: Silver, C. S., Spallas, J. P., Muray, L. P.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; Nov/Dec2006, Vol. 24 Issue 6, p2951-2955, 5p, 1 Black and White Photograph, 1 Diagram, 4 Graphs
Zobrazit plný text záznamu
8
Akademický článek
Advances in arrayed microcolumn lithography.
Autor: Muray, L. P., Spallas, J. P., Stebler, C., Lee, K., Mankos, M., Hsu, Y., Gmur, M., Chang, T. H. P.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2000, Vol. 18 Issue 6, p3099-3104, 6p
Zobrazit plný text záznamu
9
Akademický článek
Oxygen processed field emission tips for microcolumn applications.
Autor: Kim, H. S., Yu, M. L., Staufer, U., Muray, L. P., Kern, D. P., Chang, T. H. P.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1993, Vol. 11 Issue 6, p2327-2331, 5p
Zobrazit plný text záznamu
10
Akademický článek
Arrayed miniature electron beam columns for high throughput sub-100 nm lithography.
Autor: Chang, T. H. P., Kern, D. P., Muray, L. P.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1992, Vol. 10 Issue 6, p2743-2748, 6p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje