Zobrazeno 1 - 1 of 1 pro vyhledávání: '"Morioka, Jeff"'
1
Conference
Optimizing the target-to-wafer spacing for highly uniform PVD films.
Autor: Paton, Eric, Pena, Ray, Morioka, Jeff, Sprock, Karen, Morillo, Jesus, Tsu, Kao S.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1999, Issue 1, p80-87, 8p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje