Zobrazeno 1 - 10
of 10
pro vyhledávání: '"Mori, Chisayo"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Alternative developer solution/process for EUV lithography: ethyltrimethylammonium hydroxide (ETMAH)
Autor:
Felix, Nelson M., Lio, Anna, Santillan, Julius Joseph, Harumoto, Masahiko, Motono, Tomohiro, Figueiredo dos Santos, Andreia, Mori, Chisayo, Tanaka, Yuji, Stokes, Harold, Asai, Masaya, Itani, Toshiro
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; February 2021, Vol. 11609 Issue: 1 p116090W-116090W-6, 1044817p
Autor:
Gronheid, Roel, Sanders, Daniel P., Frolet, Nathalie, Argoud, Maxime, Bouet, Charlotte, Jullian, Karine, Tanaka, Yuji, Mori, Chisayo, Arisawa, You, Motono, Tomohiro, Harumoto, Masahiko, Stokes, Harold, Asai, Masaya, Tiron, Raluca
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; May 2020, Vol. 11326 Issue: 1 p113261J-113261J-6, 1019356p
Autor:
Gronheid, Roel, Sanders, Daniel P., Morita, Kazuyo, Yamamoto, Kimiko, Harumoto, Masahiko, Tanaka, Yuji, Mori, Chisayo, Arisawa, You, Motono, Tomohiro, Stokes, Harold, Asai, Masaya
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; May 2020, Vol. 11326 Issue: 1 p113260C-113260C-8, 1019349p
Autor:
Felix, Nelson M., Lio, Anna, Santillan, Julius Joseph, Harumoto, Masahiko, Stokes, Harold, Mori, Chisayo, Tanaka, Yuji, Arisawa, You, Motono, Tomohiro, Asai, Masaya, Itani, Toshiro
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2020, Vol. 11323 Issue: 1 p113231W-113231W-7, 1019087p
Autor:
Sanders, Daniel P., Guerrero, Douglas, Morita, Kazuyo, Tanaka, Yasuaki, Yamamoto, Kimiko, Tanaka, Hiroki, Harumoto, Masahiko, Tanaka, Yuji, Mori, Chisayo, Motono, Tomohiro, Stokes, Harold, Figueiredo dos Santos, Andreia, Asai, Masaya
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 11/5/2020, Vol. 11612, p1161207-1161207, 1p
Autor:
Felix, Nelson M., Lio, Anna, Santillan, Julius Joseph, Harumoto, Masahiko, Motono, Tomohiro, Figueiredo dos Santos, Andreia, Mori, Chisayo, Tanaka, Yuji, Stokes, Harold, Asai, Masaya, Itani, Toshiro
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 11/2/2020, Vol. 11609, p116090W-116090W-6, 1p
Autor:
Naulleau, Patrick P., Gargini, Paolo A., Itani, Toshiro, Ronse, Kurt G., Santillan, Julius Joseph, Harumoto, Masahiko, Stokes, Harold, Mori, Chisayo, Tanaka, Yuji, Motono, Tomohiro, Asai, Masaya
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 8/2/2020, Vol. 11517, p1151718-1151718, 1p
Autor:
Sanders, Daniel P., Guerrero, Douglas, Morita, Kazuyo, Tanaka, Yasuaki, Yamamoto, Kimiko, Tanaka, Hiroki, Harumoto, Masahiko, Tanaka, Yuji, Mori, Chisayo, Motono, Tomohiro, Stokes, Harold, Figueiredo dos Santos, Andreia, Asai, Masaya
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; February 2021, Vol. 11612 Issue: 1 p1161207-1161207-8