Zobrazeno 1 - 10 of 20 pro vyhledávání: '"Morgenfeld, Bradley"'
2
Conference
Line edge roughness reduction for 7nm metals.
Autor: Zheng Chen, McDermott, Steven, Ordonio, Christopher, Ao Chen, Morgenfeld, Bradley, Geng Han
Publikováno v: Proceedings of SPIE; 1/15/2018, Vol. 10587, p1-7, 7p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
5
Conference
Monitoring process-induced focus errors using high-resolution flatness metrology.
Autor: Morgenfeld, Bradley J., Brunner, Timothy A., Nummy, Karen, Stoll, Derek, Jing, Nan, Lin, Hong, Vukkadala, Pradeep, Herrera, Pedro, Ramkhalawon, Roshita, Sinha, Jaydeep
Publikováno v: 2015 26th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC); 2015, p340-344, 5p
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
7
Periodical
Line end shortening and iso-dense etch bias improvement by ALD spacer shrink process
Autor: Hohle, Christoph K., Gronheid, Roel, Chen, Rui, Lobb, Granger, Clancy, Aleksandra, Morgenfeld, Bradley, Pal, Shyam
Publikováno v: Proceedings of SPIE; March 2017, Vol. 10146 Issue: 1 p101461D-101461D-7, 913157p
Zobrazit plný text záznamu
8
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
10
Conference
Contact mask optimization and SRAF design.
Autor: Schroeder, Uwe P., Tabery, Cyrus, Morgenfeld, Bradley, Kanai, Hideki
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2009, Issue 1, p727407-727407-7, 7p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje