Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Characterization of ALN thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering

Autor: García-Méndez, M., Morales-Rodríguez, S., Machorro, R., Wencel De La Cruz

Publikováno v: Scopus-Elsevier
Universidad Nacional Autónoma de México
UNAM
Redalyc-UNAM
Revista Mexicana de Física (México) Num.4 Vol.54
Universidad Autónoma de Nuevo León
UANL
Redalyc-UANL

"A set of AlN thin-films was prepared by reactive magnetron sputtering at room temperature. The purpose of this work was to study the effect of oxygen impurities on the structural and optical properties of AlN films. The structural and optical proper

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::4794180b49326f743fa326a641d120b2
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-68849125926&partnerID=MN8TOARS

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.