Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Mitzschke Martin"'
Publikováno v:
EPJ Web of Conferences, Vol 215, p 03004 (2019)
A new approach for the realization of depth reference samples is presented. By a combination of photolithography, reactive ion beam etching, surface planarization with photoresists and a subsequent coating with non-transparent materials, defined sinu
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/7db70331621f447dbf7b48479fb0c063
Ion incidence angle-dependent pattern formation on AZ® 4562 photoresist by reactive ion beam etching
Autor:
Rüdiger, Tom, Mitzschke, Martin, Bundesmann, Carsten, Prager, Andrea, Liu, Ying, Abel, Bernd, Schulze, Agnes, Frost, Frank
Publikováno v:
In Surface & Coatings Technology 30 October 2024 494 Part 2
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Rüdiger, Tom, Mitzschke, Martin, Prager, Andrea, Liu, Ying, Abel, Bernd, Schulze, Agnes, Frost, Frank
Publikováno v:
In Applied Surface Science 1 February 2022 574
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.