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pro vyhledávání: '"Mikroschalter"'
Autor:
Dietrich, Franziska
Die schnelle Entwicklung um den Bereich der Medizintechnik, mit ständiger Forderung nach einfacher Bedienbarkeit, Zuverlässigkeit bei gleichzeitig geringen Kosten, führt zu der Entwicklung neuer medizinischer Instrumente und Geräte. In dieser Arb
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_____10650::84beed3ee0a6706d7e7574f978d82b98
Autor:
Künzig, Thomas
Der Einsatz von modellbasierten, virtuellen Prototypen ermöglicht den zeit- und kosteneffizienten Entwurf von Mikrosystemen. Diese Arbeit stellt ein modulares, physikalisch basiertes Modellierungskonzept vor, mit dem Modelle für die vielfältigen M
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______518::51d42120f80c2cf6d1d14478a59ec750
https://mediatum.ub.tum.de/1382820
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Autor:
Klein, Stefan
Im Rahmen dieser Arbeit wurden elektrostatisch angesteuerte RF-MEMS Schalter mit kapazitiver Kopplung entwickelt, die Prozesstemperaturen von 400°C und darüber hinaus ohne Verlust der Funktionstüchtigkeit überstehen. Als Funktionsmaterial wird ei
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::a2393a9051cfc922c0b042079283123f
Autor:
Schmid, Philipp
In dieser Arbeit werden Antriebsprinzipien für mikromechanische Bauelemente auf der Basis von polykristallinem Diamant untersucht. Diamant ist mit seinen mechanischen, thermischen und elektrischen Eigenschaften ein ideales Material für mikromechani
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::c3cdca1d1c2016ecd5797330a5540f94
Development of Micromechanical Switches for new MEMS-Products within a Semiconductor-Fab Environment
Autor:
Michaelis, Sven
The subject of this thesis is the development of new micromechanical switches as MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) products for use in a variety of communication-applications.The research work performed within the frame of this thesis on the ´
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______139::55097d7c7947626bbfb58f4229bc368b
https://media.suub.uni-bremen.de/handle/elib/1808
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