Caracterização e otimização dos processos de fotolitografia aplicados na fabricação de dispositivos micrometricos MOS e microssistemas

Autor: Fioravante Junior, Nemer Paschoal

Publikováno v: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP

Orientadores: Peter Jurgen Tatsch, Stanislav Moshkalyov Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação Resumo: O principal objetivo deste trabalho é o aperfeiçoamento dos processos d

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::094a3ecf65e3231d846838e9ad48f636
https://doi.org/10.47749/t/unicamp.2004.365452

Caracterização de propriedades mecânicas de materiais utilizados em microssistemas eletromecânicos

Autor: Silva, Mario Eduardo de Barros Gomes e Nunes da, 1981

Publikováno v: Repositório Institucional da UnicampUniversidade Estadual de CampinasUNICAMP.

Orientador: Luiz Otávio Saraiva Ferreira.
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Mecânica
Made available in DSpace on 2018-08-21T04:03:41Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Silva_MarioEduardodeBarr

Externí odkaz: http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/263491

Projeto, fabricação e teste de uma microbomba sem valvulas

Autor: Costa, Juliano Nunes

Publikováno v: Repositório Institucional da UnicampUniversidade Estadual de CampinasUNICAMP.

Orientador: Euripedes Guilherme de Oliveira Nobrega
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Mecanica
Made available in DSpace on 2018-08-06T12:28:24Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Costa_JulianoNun

Externí odkaz: http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/264091