Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Michael Wörtge"'
Publikováno v:
Optical Inspection of Microsystems ISBN: 9780429186738
Optical Science and Engineering ISBN: 9780849336829
Optical Science and Engineering ISBN: 9780849336829
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::17bb5d8381c7a8cb8f92de6d029f92b1
https://doi.org/10.1201/9780429186738-11
https://doi.org/10.1201/9780429186738-11
Autor:
Dirk Hettwer, Frank Heimes, Christian Rembe, Heinrich Steger, Alexander Dräbenstedt, Michael Wörtge
Publikováno v:
teme. 72:601-608
Ein neues kombiniertes Messverfahren eröffnet wichtige Analysemöglichkeiten für Mikrosysteme. Mit Hilfe der im Out-of-plane-Bereich extrem empfindlichen Laser-Doppler-Technik werden auf Grund von immer vorhandenen parasitären Kopplungen auch In-p
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2357cd568685a18761c252cd27b72aa2
https://doi.org/10.1524/teme.2005.72.11.601
https://doi.org/10.1524/teme.2005.72.11.601
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.